產(chǎn)品詳情
“狹縫涂布精密成膜裝備系統(tǒng)”是一個(gè)高端先進(jìn)制造業(yè)項(xiàng)目，其成膜技術(shù)可在玻璃、塑料、不銹鋼等基體上精確涂布制備功能納米、微米薄膜，在許多光電領(lǐng)域，如平板顯示、觸摸屏、薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體元器件及封裝、柔性及印制電子、智能玻璃等，有著非常廣泛的應(yīng)用。
從研發(fā)用150mm平臺(tái)到6代線，為用戶提供靈活多變的配置方案。不僅用于光學(xué)膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴(kuò)散膜等)、OLED涂布等，還可以用于有機(jī)太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等成卷基材的涂布，也應(yīng)用于非連續(xù)基材如LCD玻璃基板光阻涂布。
狹縫涂布技術(shù)適用于各種涂布液，可廣泛應(yīng)用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不銹鋼和塑料基片涂布模具相對(duì)于基片精確地運(yùn)動(dòng)，并精確檢測(cè)控制工藝流體及其涂布速度。
優(yōu)勢(shì)
可涂布不同粘度的各種材料
涂布厚度范圍廣泛:從20nm到150μm以上
很好的涂布一致性:通常優(yōu)于±3%
效率高/材料利用率高:材料利用率可達(dá)95%
能夠滿足不同需求：從研發(fā)到小批量試制、大量生產(chǎn)
工藝具有高的可靠性和魯棒性:良率可達(dá)到95%
適用于S2S和R2R加工模式
在一個(gè)工藝周期內(nèi)可實(shí)現(xiàn)矩形陣列的涂布加工
過程參數(shù)
涂布間隙控制：高精準(zhǔn)，動(dòng)態(tài)控制涂布頭高度 (z軸)
模具運(yùn)動(dòng)控制: 在涂布方向上(x軸)精確控制模具的運(yùn)動(dòng)軌跡(包括加速和減速參數(shù))
模具設(shè)計(jì): 針對(duì)高一致性、化學(xué)兼容性、低充填容量 和 條狀涂布進(jìn)行模具設(shè)計(jì)制造
涂布控制: 涂布速率(穩(wěn)態(tài)涂布) 和涂布輪廓 (前后邊緣)的高精度數(shù)字化控制
控制軟件: 所有配方參數(shù)，數(shù)據(jù)監(jiān)控和反饋控制，數(shù)據(jù)采集分析。
應(yīng)用領(lǐng)域
平板顯示
LCD, OLED, Flexible, Touch Screen
LCD, OLED, 柔性顯示, 觸摸屏
太陽能光伏
PV including CIGS, CdTe, OPV and C-Si
固態(tài)照明
OLED lighting
高附加值玻璃
可調(diào)光智能玻璃, 博物館用玻璃
半導(dǎo)體, 微機(jī)電系統(tǒng), 無線射頻識(shí)別, 聚合物電池, 和各種有機(jī)及打印電子器件
