產(chǎn)品詳情
應(yīng)用于300mm硅片外延層的滑移線，背面光暈和劃痕等缺陷檢測(cè)。
【外延缺陷檢測(cè)】
1.表面檢測(cè)：檢測(cè)對(duì)象缺陷為結(jié)晶缺陷；檢測(cè)區(qū)域?yàn)榫A全面晶圓外周～50mm范圍內(nèi)任意5mm；產(chǎn)能為55秒/枚[25枚(1Cassette)測(cè)量時(shí)、從第1枚晶圓裝載開(kāi)始第25枚晶圓回收完畢為止總計(jì)]*不含F(xiàn)OUP Cassette 的開(kāi)關(guān)時(shí)間。
2.背面檢測(cè)：檢測(cè)對(duì)象缺陷為光斑、劃痕、Edge亮點(diǎn)；檢測(cè)區(qū)域?yàn)榫A全面不含外周3ｍｍ；產(chǎn)能為55秒/枚[25枚(1Cassette)測(cè)量時(shí)、從第1枚晶圓裝載開(kāi)始第25枚晶圓回收完畢為止總計(jì)]*不含F(xiàn)OUP Cassette 的開(kāi)關(guān)時(shí)間。
【生產(chǎn)能力】：根據(jù)缺陷種類不同每片檢測(cè)最快只需40S。
【菜單功能】：可編輯檢測(cè)菜單，并進(jìn)行參數(shù)保存與導(dǎo)出。
【檢測(cè)范圍】：邊緣以外區(qū)域。
【檢測(cè)對(duì)象】：8~12寸 拋光片&外延片
