產(chǎn)品詳情
NIKON尼康50XDI干涉物鏡現(xiàn)貨
NIKON尼康50XDI干涉物鏡現(xiàn)貨
尼康50X干涉物鏡有貨參數(shù)介紹
干涉測(cè)量鏡頭可用在非接觸光學(xué)壓型測(cè)量設(shè)備上，通過(guò)此鏡頭可得到表面位圖和表面測(cè)量參數(shù)等。也可用來(lái)檢測(cè)表面粗糙度，測(cè)量精度非常高，在一個(gè)波長(zhǎng)之內(nèi)。一束光通過(guò)分光鏡，可將光直接射向樣品表面和內(nèi)置反光鏡。從樣品表面反射的光線通過(guò)再結(jié)合，就產(chǎn)生了干涉圖案。與Mirau鏡頭比起來(lái)，Michelson鏡頭擁有更長(zhǎng)的工作距離，更寬的視場(chǎng)和更大的焦深。Mirau鏡頭用在需要高倍率和/或大數(shù)值孔徑的場(chǎng)合。采用Nikon200mm鏡筒的話可將鏡頭直接裝配到C接口相機(jī)上。
品名型號(hào) 產(chǎn)品號(hào) 放大率 數(shù)字孔徑(NA)
50xNikon相干測(cè)量物鏡 59-314 50X 0.55
焦深(μm) 視場(chǎng),1/2" 傳感器
0.9 FOV, 1/2" Sensor)0.13 x 0.10mm
視場(chǎng), 2/3" 傳感器
(FOV, 2/3" Sensor)
0.18 x 0.13mm
視場(chǎng)，20直徑視場(chǎng)目鏡(mm)0.22
視場(chǎng)，25直徑視場(chǎng)目鏡(mm)0.5
焦距FL (mm)4.0
生產(chǎn)商N(yùn)ikon
安裝螺紋RMS
分辨能力 (μm)0.5
類型Mirau
重量 (g)150.00
工作距離WD (mm)3.4
| 干涉物鏡 | ||||||
|
|
2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| 工作距離（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| NA（數(shù)值孔徑） | 0.055 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.55 | 0.7 |
| FOV（mm）1 | 5093×3818 | 2546×1909 | 1270×950 | 637×477 | 254×190 | 127×95 |
| 空間采樣（mm）2 | 6.64 | 3.32 | 1.62 | 0.83 | 0.33 | 0.17 |
| 光學(xué)分辨率 藍(lán)光（L&S）（mm）3 | 2.55 | 0.93 | 0.46 | 0.31 | 0.25 | 0.20 |
| 光學(xué)分辨率 白光（L&S）（mm）3 | 3.04 | 1.11 | 0.56 | 0.37 | 0.30 | 0.24 |
| 大坡度4 | 3.05o | 8.6o | 14o | 21o | 25o | 42o |
| 垂直分辨率（nm）PSI7垂直分辨率（nm）ePSI7 | <0.1nm（PZT 0.01nm） | |||||
| 垂直分辨率（nm）VSI7 | 1nm5mm | |||||
| 垂直范圍PSI(mm) | 5mm | |||||
| 垂直范圍ePSI(mm) | 100mm | |||||
| 垂直范圍VSI(mm) | 10mm | |||||
| 掃描速率（mm/s） | PSI：3-15mm/s VSI/ePSI：4-18mm/s | |||||
| 一般測(cè)量時(shí)間（s）9 | PSI：3s VSI：10s ePSI：30s | |||||
