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氧化鋁涂層源
已經(jīng)開(kāi)發(fā)了氧化鋁涂層蒸發(fā)源以替代氧化鋁坩堝舟，用于某些特定應(yīng)用。這種蒸發(fā)源的優(yōu)點(diǎn)是傳熱好，氧化鋁對(duì)大多數(shù)金屬呈惰性。此外，蒸發(fā)劑不會(huì)潤(rùn)濕氧化鋁，從而在蒸發(fā)劑熔化時(shí)不會(huì)導(dǎo)致舟皿發(fā)生阻力變化。由于氧化鋁的非潤(rùn)濕特性，蒸發(fā)劑在熔化時(shí)會(huì)形成一個(gè)球體，從而形成點(diǎn)源。
與未受保護(hù)的源相比，這種類(lèi)型的蒸發(fā)源壽命更長(zhǎng)。由于熱傳導(dǎo)的差異，涂層源需要多出 30% 到 50% 的功率來(lái)實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)。氧化鋁是半導(dǎo)體級(jí)的，通過(guò)等離子噴涂技術(shù)應(yīng)用于舟或籃。應(yīng)避免 1850°C 的溫度，并且當(dāng)進(jìn)行蒸發(fā)時(shí)，應(yīng)稍微降低功率以避免過(guò)熱。
帶有氧化鋁屏障的鎢鉬舟
這種類(lèi)型的光源旨在提供耐火金屬舟和陶瓷屏障的優(yōu)點(diǎn)。舟底暴露的金屬區(qū)域允許蒸發(fā)物與源有良好的熱接觸。氧化鋁屏障將阻止蒸發(fā)物向散熱器蔓延或潤(rùn)濕整個(gè)船。
