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ESC靜電吸盤 E-CHUCK 靜電卡盤 全新 翻新 維修

數量(個) 價格
10000 1000.00元/個
  • 最小起訂： 1個
  • 發(fā)貨地址： 廣東 中山市
  • 發(fā)布日期：2021-04-16
  • 訪問量：2858
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第7年

深圳市天力士機械有限公司

實名認證 企業(yè)認證
  • 企業(yè)地址：福永街道立新路金菊花園d棟
詳細參數
品牌TANISS型號6寸8寸10寸12寸
類型元素半導體材料材質其他
產品名稱ESC靜電吸盤E-CHUCK靜電卡盤牌號TANISS
用途等離子刻蝕機外觀圓形
產地中國廣東顏色其他
規(guī)格尺寸6寸8寸10寸12寸

產品詳情

靜電卡盤系統由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護；靜電吸附單元電極采用高頻導體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜，在保證輸出穩(wěn)定，同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。靜電卡盤系統由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護；靜電吸附單元電極采用高頻導體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜，在保證輸出穩(wěn)定，同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。

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