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晶圓光刻膠固化溫控用高低溫一體機(jī)

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
50 65000.00元/臺(tái)
  • 最小起訂： 1臺(tái)
  • 發(fā)貨地址： 江蘇 昆山市
  • 發(fā)布日期：2025-06-06
  • 訪問量：55
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第1年

邁浦特機(jī)械（四川)有限公司

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  • 企業(yè)地址：天府大道北段1700號(hào)4棟1單元14層1417號(hào)
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詳細(xì)參數(shù)
品牌邁浦特型號(hào)MPTD系列（-60-250℃）
工作原理其他類型其他
冷卻方式其他結(jié)構(gòu)型式密封式
熱水溫度詳見技術(shù)規(guī)格書運(yùn)行電耗詳見技術(shù)規(guī)格書
冷卻水溫度詳見技術(shù)規(guī)格書適用領(lǐng)域半導(dǎo)體行業(yè)
加工定制是結(jié)構(gòu)類型密封式
標(biāo)準(zhǔn)制冷量詳見技術(shù)規(guī)格書外形尺寸詳見技術(shù)規(guī)格書
管徑可根據(jù)客戶需求定制風(fēng)扇詳見技術(shù)規(guī)格書
功率詳見技術(shù)規(guī)格書電流詳見技術(shù)規(guī)格書
重量詳見技術(shù)規(guī)格書產(chǎn)地江蘇省蘇州市昆山市

產(chǎn)品詳情

晶圓光刻膠固化溫控用高低溫一體機(jī)為晶圓光刻膠固化環(huán)節(jié)設(shè)計(jì)，集成高精度溫度控制與智能調(diào)節(jié)技術(shù)，可在 - 60℃至 250℃寬溫域內(nèi)實(shí)現(xiàn) ±0.1℃控溫精度，滿足正性膠、負(fù)性膠等不同光刻膠材料在曝光、前烘、后烘等工序的差異化溫控需求。設(shè)備采用第三代自適應(yīng) PID 算法與 24 位高精度 AD 傳感器，每秒 100 次高頻數(shù)據(jù)采集，動(dòng)態(tài)補(bǔ)償溫度波動(dòng)，從根源上避免因溫度不均導(dǎo)致的光刻線寬偏差（如 0.1μm 級(jí)線寬的 ±5% 波動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)降低 90%），顯著提升芯片制造良率與一致性。
典型應(yīng)用場景

  • 消費(fèi)電子芯片：精準(zhǔn)控制光刻膠膜厚均勻性，提升智能手機(jī) SoC 芯片性能。
  • 5G 通信設(shè)備：在 180℃高溫后烘工藝中降低 GaN 功率芯片柵極邊緣粗糙度至 2nm，優(yōu)化射頻信號(hào)線性度。
  • 柔性電子制造：-40℃超低溫環(huán)境下確保聚酰亞胺材料微米級(jí)線路成型精度，賦能可穿戴設(shè)備傳感器集成。

溫馨提示

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