金剛石提純設備氣體質量流量控制器 ALICAT質量流量控制器性能
- 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標簽）
- 可調比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
- 校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）
- 可重復性：0.5%滿量程
- 標準控制器響應時間常數(shù)：100ms（可利用PID調節(jié)功能調節(jié)）
- 預熱時間：70ms，達到完整精度
產品詳情
金剛石提純設備氣體質量流量控制器 ALICAT質量流量控制器，能為用戶提供可重復、可靠、經濟的氣體流量控制方案。專為原始設備制造商（OEM）無應力設備集成而設計的輕便靈巧、內置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特特有的快速閥門控制。
- 可靠。氣體質量流量控制器絕不會讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復性使其在工作第700天時仍像第一天一樣。
- 靈敏。您不會再因為壓力峰值而毀了一整天。氣體質量流量控制器具有業(yè)內領先的控制速度和閥門調節(jié)，能帶給用戶的益處將遠遠超出預期。
- 兼容。氣體質量流量控制器應用范圍相當廣，輕便靈巧、多氣體標定、模擬及數(shù)字雙重通訊將為您的項目設計提供更大的靈活性。
金剛石提純設備氣體質量流量控制器 ALICAT質量流量控制器工作條件
- 兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮（可通過串行連接選擇氣體）；訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準（僅使用一種氣體）
- 工作溫度：0°C至+50°C
- 內部壓力（靜態(tài)）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
- 耐受壓力：175 psig（190 psia）
- STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
