近日，易度儀器儀表有限公司宣布，其自主研發(fā)的通用型層流質(zhì)量流量計系列產(chǎn)品通過中國計量科學研究院的計量器具型式評價試驗，獲得中國首個層流質(zhì)量流量計計量器具型式批準資質(zhì)證書（簡稱：CPA證書）。

　　一直以來，小微氣體、液體流量的精確測量和控制被西方發(fā)達國家技術(shù)壟斷，這項技術(shù)在眾多高端制造領(lǐng)域，包括半導體、生物制藥、新材料等都屬于重要核心技術(shù)。聚焦用戶過程控制，半導體300多項關(guān)鍵工藝中，有光刻、氣相沉積、單晶生產(chǎn)等超過70%的工藝項點都與微流量測量相關(guān)；石墨烯等新材料的生產(chǎn)制造過程中，最常用的方法增強等離子的化學氣相沉積，也需要精準配給氣體和液體；等離子體發(fā)動機作為未來航天發(fā)展方向，在生產(chǎn)制造工藝和地面測試環(huán)節(jié)，需要精確測量小于1ml/min稀有氣體的質(zhì)量流量，這是等離子體發(fā)動機穩(wěn)定工作的關(guān)鍵測試工藝。

　　面對國外技術(shù)封鎖，自2011年開始，易度儀器遵循概念論證—關(guān)鍵技術(shù)驗證—方案驗證—原理樣機—工程樣機—產(chǎn)品樣機—產(chǎn)品的技術(shù)路線，通過自主創(chuàng)新探索微流量測量領(lǐng)域。當時，在這一領(lǐng)域有兩條技術(shù)方向：一是以傳熱學原理為基礎(chǔ)的熱式質(zhì)量流量計，主要由歐美日的六七家公司占據(jù)全球絕大部分市場，是技術(shù)的主流，技術(shù)成熟度較高，但國內(nèi)一直無法掌握熱式傳感器這一技術(shù)核心；另外一條是以“哈根泊肅葉定理”為基礎(chǔ)的層流質(zhì)量流量計，其核心的層流傳感器研發(fā)由于技術(shù)難度更高，制造工藝極為復(fù)雜，讓那些生產(chǎn)熱式質(zhì)量流量計的國際頂級廠商也望而卻步。

　　幾十年來，全球范圍內(nèi)唯一取得重大層流技術(shù)突破的只有一家美國公司，但離實現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)應(yīng)用還有不小的距離。最終，考慮到熱式技術(shù)已趨于成熟，發(fā)展空間趨于飽和，在充分調(diào)研后，易度儀器選擇了更加先進，擁有廣闊技術(shù)發(fā)展空間，但技術(shù)門檻更高的層流質(zhì)量流量計技術(shù)路線，開始專注于攻克核心技術(shù)——“通用型層流傳感器”的研發(fā)。

　　易度儀器成功研發(fā)出的層流質(zhì)量流量計和控制器，不僅能實現(xiàn)對氣體和液體質(zhì)量流量的測量，還能精準控制，是國內(nèi)第一款自主研發(fā)的層流原理數(shù)字化產(chǎn)品。經(jīng)過無數(shù)次技術(shù)改進，產(chǎn)品正日趨成熟，實現(xiàn)了在-20到70攝氏度環(huán)境下的正常使用，精度控制在1.0級以內(nèi)，重復(fù)性0.1%，響應(yīng)時間達到0.01S。目前該項技術(shù)已獲國家發(fā)明專利兩項，同時在全球PCT檢索中具有新穎性。在國內(nèi)，也只有易度公司掌握了通用型層流測控技術(shù)，產(chǎn)品經(jīng)過國家最高權(quán)威機構(gòu)的驗證，成為中國首家通過認證的通用型層流質(zhì)量流量計生產(chǎn)商。

　　編輯點評

　　小微氣體、液體流量的精確測量和控制被西方發(fā)達國家技術(shù)壟斷。打破技術(shù)枷鎖，易度儀器成功研發(fā)出的層流質(zhì)量流量計和控制器，目前該項技術(shù)已獲國家發(fā)明專利兩項，同時在全球PCT檢索中具有新穎性。