儀器信息網(wǎng)訊2019年8月17-19日，第八屆中國(guó)國(guó)際納米科技會(huì)議(chinanano 2019)在北京舉行。會(huì)議吸引了來(lái)自全球40多個(gè)國(guó)家和地區(qū)的2500余名從事納米科技研究的院士、專(zhuān)家、青年學(xué)者及企業(yè)精英參會(huì)開(kāi)展科學(xué)交流。

chinanano 2019大會(huì)現(xiàn)場(chǎng)

作為chinanano 2019的贊助商，牛津儀器攜旗下原子力顯微鏡部門(mén)(asylum research，以下簡(jiǎn)稱(chēng)ar)亮相此次大會(huì)。會(huì)議間隙，在牛津儀器展位，儀器信息網(wǎng)編輯就ar業(yè)務(wù)部門(mén)產(chǎn)品研發(fā)及市場(chǎng)動(dòng)向，與ar全球總裁terry hannon博士、亞太區(qū)副總裁david beck博士、產(chǎn)品經(jīng)理marta kocun博士以及中國(guó)區(qū)大區(qū)經(jīng)理劉方博士進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)交流。

牛津儀器展位現(xiàn)場(chǎng)

專(zhuān)注afm研究20載，產(chǎn)品創(chuàng)新從高性能到廣用途

ar成立于1999年4月1日，2012年加入牛津儀器，且加入牛津儀器之前就已經(jīng)在中國(guó)開(kāi)展了業(yè)務(wù)。今年是部門(mén)成立的20周年，20年來(lái)，ar一直專(zhuān)注于原子力顯微鏡的研究，部門(mén)員工從最開(kāi)始的三個(gè)創(chuàng)始人發(fā)展到現(xiàn)在的近百人，從事中國(guó)業(yè)務(wù)的人員也從一個(gè)人發(fā)展到十幾人。david beck介紹到，“至chinanano 2019，已經(jīng)是牛津儀器ar第七次參加chinanano，每次參會(huì)ar都會(huì)帶來(lái)具有革命性意義的新產(chǎn)品、新技術(shù)?！?/p>

ar創(chuàng)立之初的第一款產(chǎn)品mfp-1d是最早的具有閉環(huán)掃描器的產(chǎn)品，解決了當(dāng)時(shí)市場(chǎng)上的原子力顯微鏡都無(wú)法精準(zhǔn)地測(cè)量力曲線的弊病。2007年，ar推出了快速掃描產(chǎn)品cypher，那時(shí)候大家掃一幅afm圖像普遍需要幾分鐘甚至十幾分鐘，市場(chǎng)上也沒(méi)有出現(xiàn)所謂快速掃描原子力顯微鏡的概念，cypher的推出把掃描速度提高了幾十倍，線速度可以達(dá)到幾十赫茲。2017年牛津儀器正式推出了cypher vrs，這是市場(chǎng)上第一款全功能的視頻級(jí)掃描原子力顯微鏡，其將afm的掃描速度又提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)，最快可以實(shí)現(xiàn)超過(guò)10幅每秒的幀速度，讓使用者可以進(jìn)行納米尺度下的原位動(dòng)態(tài)的研究，這是一個(gè)巨大的進(jìn)步。

“今年推出的jupiter，是一款大樣品臺(tái)原子力顯微鏡。無(wú)論是分辨率、自動(dòng)化程度、掃描精度、還是掃描速度，它都領(lǐng)先于市場(chǎng)上的同類(lèi)產(chǎn)品，且jupiter可以兼顧學(xué)術(shù)和工業(yè)研究的需求?！?marta kocun說(shuō)到，“工業(yè)界的樣品尺寸一般都比較大，無(wú)法切割。之前很多客戶(hù)對(duì)我們的產(chǎn)品性能很滿意，但是出于樣品尺寸方面的考量，放棄了我們的產(chǎn)品，jupiter的推出解決了這個(gè)問(wèn)題?！?/p>

牛津儀器ar原子力顯微鏡

(左: mfp-3d; 中: cypher vrs; 右: 本次展出的jupiter xr)

技術(shù)創(chuàng)新為基礎(chǔ)，拓寬afm應(yīng)用領(lǐng)域從學(xué)術(shù)至工業(yè)

“如果你看我們技術(shù)發(fā)展歷程的話，會(huì)發(fā)現(xiàn)牛津儀器ar一直引領(lǐng)著原子力顯微鏡市場(chǎng)的技術(shù)革新?！眛erry hannon說(shuō)到，“牛津儀器ar把產(chǎn)品帶到了chinanano 2019現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行操作展示，這說(shuō)明我們對(duì)自己的產(chǎn)品非常有信心。原子力顯微鏡對(duì)穩(wěn)定性和噪音有很高的要求，一般需要一個(gè)安靜的運(yùn)行環(huán)境，而牛津儀器ar的產(chǎn)品在這樣一個(gè)較為嘈雜的環(huán)境下仍可以工作，足以證明ar產(chǎn)品的技術(shù)能力和水平?！?/p>

ar以前的客戶(hù)主要集中在高尖端科研和工業(yè)研發(fā)領(lǐng)域，通過(guò)推出配備大樣品臺(tái)的快速掃描原子力顯微鏡，客戶(hù)也從學(xué)術(shù)研究拓展到了工業(yè)生產(chǎn)、檢測(cè)等更多的領(lǐng)域。terry hannon表示，“其實(shí)公司新款產(chǎn)品的推出就是要從學(xué)術(shù)走到更廣闊的應(yīng)用前景，我們要把原子力顯微鏡的使用場(chǎng)景擴(kuò)得更大，讓更多的人用到牛津儀器ar的先進(jìn)技術(shù)?！?/p>

牛津儀器不只有原子力顯微鏡部門(mén)，還有等離子體部門(mén)、能譜部門(mén)等?！霸谘邪l(fā)jupiter這款產(chǎn)品的時(shí)候，ar就跟等離子體部門(mén)有很好的合作，深挖了半導(dǎo)體領(lǐng)域的需求，并針對(duì)需求進(jìn)行產(chǎn)品的研發(fā)和制定?！眒arta kocun說(shuō)到，“我們有很強(qiáng)的技術(shù)，并將這些技術(shù)優(yōu)勢(shì)轉(zhuǎn)變?yōu)獒槍?duì)半導(dǎo)體領(lǐng)域的具體的解決方案。其實(shí)工業(yè)界更關(guān)心是準(zhǔn)確性、重復(fù)性、以及長(zhǎng)效性。牛津儀器ar在新推出的jupiter xr上面做了測(cè)試，用同一根探針連續(xù)掃描一千次，最終的結(jié)果顯示，測(cè)得的表面粗糙度的誤差小于1%，這樣的一致性對(duì)工業(yè)領(lǐng)域是非常重要的。ar提供的儀器和技術(shù)能夠讓半導(dǎo)體領(lǐng)域客戶(hù)在高效使用設(shè)備的同時(shí)，獲得準(zhǔn)確而可重復(fù)的測(cè)量數(shù)據(jù)?！?/p>

交流現(xiàn)場(chǎng)

中國(guó)市場(chǎng)需求向上，未來(lái)將持續(xù)加大投入

“中國(guó)是一個(gè)發(fā)展相對(duì)迅猛的市場(chǎng)，由于政府和企業(yè)越來(lái)越重視研發(fā)的投入，中國(guó)對(duì)高科技設(shè)備的需求也在逐年增長(zhǎng)?！眛erry hannon講到，“所以牛津儀器非常重視中國(guó)的市場(chǎng)，對(duì)中國(guó)市場(chǎng)也做了持續(xù)的投入?！?/p>

“就像白春禮院長(zhǎng)在chinanano 2019開(kāi)幕式上講的，中國(guó)的納米科技已經(jīng)在世界上領(lǐng)先，其中很多領(lǐng)域都處于引領(lǐng)地位。牛津儀器不僅可以提供技術(shù)一流的儀器產(chǎn)品，同時(shí)也有非常優(yōu)秀的、有資深專(zhuān)業(yè)背景的工程師團(tuán)隊(duì)，能夠支持客戶(hù)最大限度地利用儀器。公司用心培養(yǎng)專(zhuān)業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，幫助中國(guó)用戶(hù)掌握先進(jìn)的afm技術(shù)，在這個(gè)層面上也體現(xiàn)出了對(duì)中國(guó)市場(chǎng)的重視?！眛erry hannon說(shuō)到。

更多潛在市場(chǎng)需求有待開(kāi)發(fā)，牛津儀器ar致力讓afm“更快速、更準(zhǔn)確、更智能”

marta kocun談到，“如果看到我們最新的儀器，會(huì)發(fā)現(xiàn)跟幾十年前的產(chǎn)品有很大的不同。跟以前的產(chǎn)品相比，它的主要部件、驅(qū)動(dòng)方式、檢測(cè)系統(tǒng)都有了顯著的發(fā)展。比如牛津儀器ar推出的bluedrive光熱激發(fā)輕敲模式，就是徹底改變了傳統(tǒng)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)方式，大大提高了測(cè)量的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。再比如牛津儀器ar近期推出的干涉位移傳感系統(tǒng)（ids），其最大優(yōu)勢(shì)是可以避免傳統(tǒng)光杠桿所帶來(lái)的誤差，能夠?qū)崿F(xiàn)探針運(yùn)動(dòng)的精確測(cè)量?！?/p>

雖然原子力顯微鏡市場(chǎng)在逐年增長(zhǎng)，但它還是有很大的增長(zhǎng)空間。對(duì)此，terry hannon表示，“原子力顯微鏡具有自己獨(dú)一無(wú)二的特點(diǎn)，能做別的技術(shù)做不了的事。牛津ar的愿景就是要把原子力顯微鏡做得更快速、更準(zhǔn)確、更智能，使得原子力顯微鏡為更多人所認(rèn)識(shí)，讓更多的人可以直接使用?！?/p>

牛津儀器ar高層與本次展出的jupiter xr

(左至右: terry hannon博士; david beck博士; marta kocun博士; 劉方博士)