IMU全稱Inertial Measurement Unit，慣性測量單元，主要用來檢測和測量加速度與旋轉(zhuǎn)運動的傳感器。其原理是采用慣性定律實現(xiàn)的，這些傳感器從超小型的的MEMS傳感器，到測量精度非常高的激光陀螺，無論尺寸只有幾個毫米的MEMS傳感器，到直徑幾近半米的光纖器件采用的都是這一原理。
最基礎(chǔ)的慣性傳感器包括加速度計和角速度計(陀螺儀)，他們是慣性系統(tǒng)的核心部件，是影響慣性系統(tǒng)性能的主要因素。尤其是陀螺儀其漂移對慣導(dǎo)系統(tǒng)的位置誤差增長的影響是時間的三次方函數(shù)。而高精度的陀螺儀制造困難，成本高昂。因此提高陀螺儀的精度、同時降低其成本也是當前追求的目標。
陀螺儀的發(fā)展趨勢：
隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了新型的慣性傳感器微機械陀螺儀和加速度計。MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微機電系統(tǒng)/微電子機械系統(tǒng))技術(shù)傳感器也逐漸演變成為汽車傳感器的主要部件。本文這里重點介紹MEMS的六軸慣性傳感器。它主要由三個軸加速度傳感器及三個軸的陀螺儀組成。
一、MEMS慣性傳感器分級、組成及原理
1、MEMS慣性傳感器分級
目前不管是傳統(tǒng)汽車還是自動駕駛汽車用的慣性傳感器通常是中低級的，其特點是更新頻率高(通常為：1kHz)，可提供實時位置信息。但它有個致命的缺點——他的誤差會隨著時間的推進而增加，所以只能在很短的時間內(nèi)依賴慣性傳感器進行定位。通常在自動駕駛車輛中與GNSS(全球?qū)Ш叫l(wèi)星系統(tǒng))配合一起使用，稱為組合慣導(dǎo)。
2、MEMS慣性傳感器組成及原理
慣性傳感器是對物理運動做出反應(yīng)的器件，如線性位移或角度旋轉(zhuǎn)，并將這種反應(yīng)轉(zhuǎn)換成電信號，通過電子電路進行放大和處理。加速度計和陀螺儀是最常見的兩大類MEMS慣性傳感器。加速度計是敏感軸向加速度并轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的傳感器;陀螺儀是能夠敏感運動體相對于慣性空間的運動角速度的傳感器。三個MEMS加速度計和三個MEMS陀螺儀組合形成可以敏感載體3個方向的線加速度和3個方向的加速度的微型慣性測量組合(Micro Inertial Messurement Unit，MIMU)，慣性微系統(tǒng)利用三維異構(gòu)集成技術(shù)，將MEMS加速度計、陀螺儀、壓力傳感器、磁傳感器和信號處理電路等功能零件集成在硅芯片內(nèi)，并內(nèi)置算法，實現(xiàn)芯片級制導(dǎo)、導(dǎo)航、定位等功能。
(1)MEMS加速度計
MEMS加速度計是MEMS領(lǐng)域最早開始研究的傳感器之一。經(jīng)過多年的發(fā)展，MEMS加速度計的設(shè)計和加工技術(shù)已經(jīng)日趨成熟。
上圖為MEMS加速度計，它的工作原理就是靠MEMS中可移動部分的慣性。由于中間電容板的質(zhì)量很大，而且它是一種懸臂構(gòu)造，當速度變化或者加速度達到足夠大時，它所受到的慣性力超過固定或者支撐它的力，這時候它會移動，它跟上下電容板之間的距離就會變化，上下電容就會因此變化。電容的變化跟加速度成正比。根據(jù)不同測量范圍，中間電容板懸臂構(gòu)造的強度或者彈性系數(shù)可以設(shè)計得不同。還有如果要測量不同方向的加速度，這個MEMS的結(jié)構(gòu)會有很大的不同。電容的變化會被另外一塊專用芯片轉(zhuǎn)化成電壓信號，有時還會把這個電壓信號放大。電壓信號在數(shù)字化后經(jīng)過一個數(shù)字信號處理過程，在零點和靈敏度校正后輸出。
加速度計還有一個自測試功能。當它剛通電時，邏輯控制會向自測試電路發(fā)出命令。自測試電路產(chǎn)生一個直流電壓加載到MEMS芯片的自測試電路板上，中間可活動電容板就會因靜電吸引而下移。接下來的處理過程跟測試真的加速度一樣。
目前，國外眾多研究機構(gòu)和慣性器件廠商都開展了MEMS加速度計技術(shù)研究，如美國的Draper實驗室、Michigan大學、加州大學Berkley分校、瑞士Neuchatel大學、美國Northrop Grumman Litton公司、Honeywell公司、ADI、Silicon Designs、Silicon Sensing、Endevco公司、瑞士的Colibrys公司、英國的BAE公司等。
其中，以Draper實驗室為代表的研究機構(gòu)和大學的主要工作在于提升MEMS加速度計的技術(shù)指標。能夠提供實用化MEMS加速度計產(chǎn)品的主要廠家有ADI、Silicon Designs、Silicon Sensing、Endevco和瑞士的Colibrys公司。
(2)MEMS陀螺儀角速度計
自20世紀80年代以來，對角速率敏感的MEMS陀螺儀角速度計受到越來越多的關(guān)注。根據(jù)性能指標，MEMS陀螺儀同樣可以分為三級：速率級、戰(zhàn)術(shù)級和慣性級。速率級陀螺儀可用于消費類電子產(chǎn)品、手機、數(shù)碼相機、游戲機和無線鼠標;戰(zhàn)術(shù)級陀螺儀適用于工業(yè)控制、智能汽車、火車、汽船等領(lǐng)域;慣性級陀螺儀可用于衛(wèi)星、航空航天的導(dǎo)航、制導(dǎo)和控制。
上圖為MEMS陀螺儀角速度計(MEMS gyroscope)，其工作原理是利用角動量守恒原理及科里奧效應(yīng)測量運動物體的角速率。它主要是一個不停轉(zhuǎn)動的物體，它的轉(zhuǎn)軸指向不隨承載它的支架的旋轉(zhuǎn)而變化。
與加速度計工作原理相似，陀螺儀的上層活動金屬與下層金屬形成電容。當陀螺儀轉(zhuǎn)動時，他與下面電容板之間的距離機會發(fā)生變化，上下電容也就會因此而改變。電容的變化跟角速度成正比，由此我們可以測量當前的角速度。
據(jù)不完全統(tǒng)計，研究MEMS陀螺儀的機構(gòu)如下：斯坦福大學、密歇根大學、加州大學伯克利分校、歐文、洛杉磯、中東技術(shù)大學、弗萊堡大學、南安普敦大學、首爾國立大學、根特大學、清華大學、北京大學、東南大學、上海交通大學、浙江大學、博世、ST、InvenSense、NXP、ADI、TI等。
(3)慣性傳感器的誤差問題
由于制作工藝的原因，慣性傳感器測量的數(shù)據(jù)通常都會有一定誤差。第一種誤差是偏移誤差，也就是陀螺儀和加速度計即使在沒有旋轉(zhuǎn)或加速的情況下也會有非零的數(shù)據(jù)輸出。要想得到位移數(shù)據(jù)，我們需要對加速度計的輸出進行兩次積分。在兩次積分后，即使很小的偏移誤差會被放大，隨著時間推進，位移誤差會不斷積累，最終導(dǎo)致我們沒法再跟蹤物體的位置。第二種誤差是比例誤差，所測量的輸出和被檢測輸入的變化之間的比率。與偏移誤差相似，在兩次積分后，隨著時間推進，其造成的位移誤差也會不斷積累。第三種誤差是背景白噪聲，如果不給予糾正，也會導(dǎo)致我們沒法再跟蹤物體的位置。
二、慣性傳感器應(yīng)用
慣性傳感器能夠為車輛中的所有控制單元提供車輛的即時運動狀態(tài)。路線偏移，縱向橫向的擺動角速度，以及縱向、橫向和垂直加速度等信號被準確采集，并通過標準接口傳輸至數(shù)據(jù)總線。所獲得的信號用于復(fù)雜的調(diào)節(jié)算法，以增強乘用車和商用車(例如，ESC/ESP、ADAS、AD)以及摩托車(優(yōu)化的曲線ABS)、工業(yè)車輛和農(nóng)用車的舒適性與安全應(yīng)用。
三、MEMS慣性傳感器的發(fā)展
未來MEMS慣性傳感器的發(fā)展主要有四個方向：
1、高精度
導(dǎo)航、自動駕駛和個人穿戴設(shè)備等對慣性傳感器的精度需求逐漸提高，精細化測量需求和智能化的發(fā)展也對傳感器的精度提出了越來越高的要求。
2、微型化
器件的微型化可以實現(xiàn)設(shè)備便攜性，滿足分布式應(yīng)用要求。微型化是未來智能傳感設(shè)備的發(fā)展趨勢，是實現(xiàn)萬物互聯(lián)的基礎(chǔ)。
3、高集成度
無論是慣性測量單元還是慣性微系統(tǒng)都是為了提高器件的集成度，進而實現(xiàn)在更小的體積內(nèi)具備更多的測量功能，滿足裝備小體積、低功耗、多功能的需求。
4、適應(yīng)性強
隨著MEMS慣性傳感器的應(yīng)用范圍越來越廣泛，工作環(huán)境也會越來越復(fù)雜，例如：高溫、高壓、大慣量和高沖擊等，適應(yīng)復(fù)雜環(huán)境能夠進一步拓寬MEMS慣性傳感器的應(yīng)用范圍。
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