2020年7月28日，上海計(jì)量院材質(zhì)中心理化室與國(guó)際分析儀器賽默飛世爾公司在上海共同舉辦了“集結(jié)技術(shù)，突破核心”——2020年集成電路行業(yè)發(fā)展與分析技術(shù)研討會(huì)。此次會(huì)議也是上海計(jì)量院“上海市電子化學(xué)品計(jì)量檢測(cè)技術(shù)服務(wù)平臺(tái)”(以下簡(jiǎn)稱“平臺(tái)”)的一項(xiàng)重要對(duì)外服務(wù)活動(dòng)。
參加此次研討會(huì)的單位既有中芯國(guó)際、新昇半導(dǎo)體等我國(guó)集成電路支柱企業(yè)，又有諸如洛陽(yáng)中硅、浙江巨化等新興民營(yíng)電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)，共有116名參會(huì)人員。會(huì)上上海計(jì)量院人員介紹了平臺(tái)為集成電路產(chǎn)業(yè)提供大型設(shè)備計(jì)量校準(zhǔn)、濕電子化學(xué)品雜質(zhì)檢測(cè)、納米尺寸與顆粒度檢測(cè)、電子級(jí)氣體質(zhì)量評(píng)價(jià)和物理表征等技術(shù)服務(wù)情況，分享了2019年集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展報(bào)告；賽默飛世爾公司特邀業(yè)內(nèi)專家分別介紹了高純金屬靶材、大尺寸硅片和超痕量檢測(cè)的技巧等多方面內(nèi)容。研討會(huì)干貨滿滿，氣氛熱烈，得到了與會(huì)人員的一致好評(píng)。
當(dāng)下國(guó)際環(huán)境日益復(fù)雜，隨著市場(chǎng)需求和國(guó)家政策的推動(dòng)，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)正在經(jīng)歷著前所未有的發(fā)展變革。隨著芯片制程工藝水平的不斷提升，對(duì)各類材料及化學(xué)品的品控要求近乎苛刻，雜質(zhì)的檢測(cè)要求已達(dá)十億分之一的級(jí)別，對(duì)檢測(cè)方法和檢測(cè)設(shè)備都提出了全新的要求。在此背景下，上海計(jì)量院與賽默飛世爾公司強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，為上海及周邊地區(qū)的集成電路及電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)及研發(fā)機(jī)構(gòu)，提供了一次很好的學(xué)習(xí)交流機(jī)會(huì)，共同探討了我國(guó)集成電路技術(shù)的發(fā)展，集成電路領(lǐng)域新的技術(shù)應(yīng)用和前沿發(fā)展成果。
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