日前，由沈陽儀表科學研究院有限公司聯(lián)合中科院沈陽自動化所、沈陽工業(yè)大學承擔的2019年度遼寧省科技重大專項“全固封高溫硅壓力傳感器研究及產(chǎn)業(yè)化”項目取得了關鍵性進展。該項目攻克了高溫壓力芯片優(yōu)化設計、傳感器封裝結構設計、無引線封接工藝等關鍵技術，研發(fā)出多規(guī)格新型高溫壓力芯片和傳感器芯體樣品。項目設計采用高溫傳導熔融與高溫匹配燒結相結合方式，為傳感器整機研制打通節(jié)點。
新一代信息技術領域科技創(chuàng)新項目的順利實施，有力推動了我省關鍵技術科研攻關。2019年啟動的8個省科技重大專項項目進展順利，已突破20余項關鍵技術，開發(fā)出智能裝備工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺、集成電路薄膜沉積設備大型傳輸平臺、650伏硅基氮化鎵功率器件等5個重大創(chuàng)新產(chǎn)品和樣機，申請發(fā)明專利53項，一批重大創(chuàng)新產(chǎn)品初步實現(xiàn)了應用。
當前，我省2020年省重大專項和重點研發(fā)計劃項目申報工作順利實施。省科技廳聚焦新一代信息技術創(chuàng)新鏈和集成電路及裝備創(chuàng)新鏈，以賦能支柱產(chǎn)業(yè)升級、提升關鍵領域自主可控水平為主要目標，圍繞人工智能、集成電路、通信網(wǎng)絡、高端軟件、物聯(lián)網(wǎng)、文化科技融合等方向，組織實施了工業(yè)人工智能平臺、基于5G的車聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)、大尺寸半導體級硅片等重大科技項目20余項，預計將引導社會投入超過6億元，形成專利等創(chuàng)新成果100項以上。
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