帕斯卡總經(jīng)理姚政鵬

在芯片制造制造全程中，晶圓廠需要在光刻、刻蝕等每一個(gè)步驟結(jié)束后，對晶圓進(jìn)行檢測，以確認(rèn)加工參數(shù)達(dá)到設(shè)計(jì)要求、排除晶圓表面缺陷，從而保證良率和控制成本。

這種貫穿芯片制造全程的檢測工藝，就被稱為“前道量測”，又稱“過程工藝檢測”。

據(jù)semi的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，目前全球集成電路制造檢測類設(shè)備市場規(guī)模超800億，其中前道量測設(shè)備市場規(guī)模406億元左右。

在2021中國光谷3551國際創(chuàng)業(yè)大賽中，湖北帕斯卡科技有限公司（以下簡稱“帕斯卡”）的參賽項(xiàng)目“極大規(guī)模集成電路在線光學(xué)檢測裝備研發(fā)與制造”從初賽開始就就備受矚目，并最終以復(fù)賽并列第三的成績，與類器官芯片、腦科學(xué)等十大硬核項(xiàng)目一起闖入全球總決賽，該項(xiàng)目面向的正是整個(gè)集成電路晶圓制造領(lǐng)域的前道量測設(shè)備。

帕斯卡總經(jīng)理、湖北理工學(xué)院電氣與電子信息工程學(xué)院姚政鵬博士，曾參與光學(xué)精密成像系統(tǒng)的研發(fā)與生產(chǎn)多年，了解集成電路設(shè)計(jì)、制造、封裝測試全流程。據(jù)他介紹，團(tuán)隊(duì)核心成員長期從事ulsic（極大規(guī)模集成電路）生產(chǎn)線檢測裝備前沿研發(fā)，已完全掌握核心技術(shù)，包括具有國際先進(jìn)水平的亞納米級快速自動(dòng)化光學(xué)顯微成像分析系統(tǒng)、高傳送與定位精度智能化機(jī)械手與傳輸系統(tǒng)和圖像分析與自動(dòng)化控制軟件等制造技術(shù)，能提供全套的自動(dòng)化在線光學(xué)檢測解決方案。

“目前，國內(nèi)前道量測設(shè)備市場仍舊由外國廠商占據(jù)主導(dǎo)地位，國產(chǎn)化率相對較低?！币φi表示，帕斯卡計(jì)劃在 3 年內(nèi)融資 5000 萬元以上，重點(diǎn)用于啟動(dòng)納米級快速全自動(dòng)在線光學(xué)分析檢測設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，“未來將新增生產(chǎn)線，加快核心技術(shù)攻關(guān)，加速完成資源整合和產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)，力爭在3年內(nèi)占據(jù)超過2%的國內(nèi)集成電路檢測設(shè)備市場。”

對于連續(xù)多年舉辦的中國光谷3551國際創(chuàng)業(yè)大賽，姚政鵬一直保持密切關(guān)注，“之前項(xiàng)目一直在孵化之中，直到近期才有產(chǎn)品推向市場，我們希望借助這個(gè)國際性的創(chuàng)業(yè)平臺(tái)來做一次項(xiàng)目的展示，讓更多人關(guān)注到我們的產(chǎn)品。”

姚政鵬計(jì)劃將位于湖北黃石的帕斯卡總部遷至中國光谷，他表示，武漢在我國光通信領(lǐng)域占據(jù)重要戰(zhàn)略地位，光谷已經(jīng)發(fā)展成為我國重要的光纖光纜、光芯片、光器件（光模塊）和光通信系統(tǒng)設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)基地，集成電路領(lǐng)域的幾大頭部廠商均已布局光谷，“我們是為頭部廠商做配套設(shè)備的公司，希望能夠借助光谷的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢，將事業(yè)踏踏實(shí)實(shí)做起來。