近日，上海計量院承擔的市市場監(jiān)管局科技計劃項目“集成電路材料中關(guān)鍵雜質(zhì)檢測方法研究和國家標準制定”(項目編號：2021-02)順利通過驗收。
該項目通過質(zhì)譜和加氧技術(shù)的聯(lián)合運用，有效解決光刻材料檢測過程中碳沉積問題，關(guān)鍵雜質(zhì)檢出限達到0.01 μg/kg，回收率為88.5%~119.8%;通過預吹掃、雙瓶吸收、吸收速度和吸收液體積的優(yōu)化，提升了電子氣體的吸收效率，吸收效率大于92%，技術(shù)成果形成國家標準一項;通過運用大流量霧化器，解決了拋光材料堵塞進樣系統(tǒng)的問題，關(guān)鍵雜質(zhì)的回收率為84.0%~120.0%，相對標準偏差小于10%，三種方法的線性相關(guān)系數(shù)均大于0.999。
項目已為集成電路企業(yè)提供200余次的技術(shù)服務(wù)，加快了材料國產(chǎn)化的進程。項目技術(shù)人員組織召開培訓會議6次，促進集成電路材料檢測的標準化水平提升。
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