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壓電傳感器原理及應(yīng)用

一、壓電效應(yīng)及壓電材料


  1、壓電效應(yīng)


  壓電材料是指受到壓力作用在其兩端面會(huì)出現(xiàn)電荷的一大類單晶或多晶的固體材料,它是進(jìn)行能量轉(zhuǎn)換和信號(hào)傳遞的重要載體。最早報(bào)道材料具有壓電特性的是法國物理學(xué)家居里兄弟,1880年他們發(fā)現(xiàn)把重物放在石英晶體上,晶體某些表面會(huì)產(chǎn)生電荷,電荷量與壓力成正比,并將其成為壓電效應(yīng)。壓電效應(yīng)可分為正壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)兩種。某些介電體在機(jī)械力作用下發(fā)生形變,使介電體內(nèi)正負(fù)電荷中心發(fā)生相對位移而極化,以致兩端表面出現(xiàn)符號(hào)相反的束縛電荷,其電荷密度與應(yīng)力成比例。這種由“壓力”產(chǎn)生“電”的現(xiàn)象稱為正壓電效應(yīng)。反之,如果將具有壓電效應(yīng)的介電體置于外電場中,電場使介質(zhì)內(nèi)部正負(fù)電荷位移,導(dǎo)致介質(zhì)產(chǎn)生形變。這種由“電”產(chǎn)生“機(jī)械變形”的現(xiàn)象稱為逆壓電效應(yīng)。


  2、壓電材料


  (1)壓電單晶


  壓電單晶是指按晶體空間點(diǎn)陣長程有序生長而成的晶體。這種晶體結(jié)構(gòu)無對稱中心,因此具有壓電性。如石英晶體、鎵酸鋰、鍺酸鋰、鍺酸鈦以及鐵晶體管鈮酸鋰、鉭酸鋰等。壓電單晶材料的生長方法包括水熱法、提拉法、坩堝下降法和泡生法等。


  (2)壓電陶瓷


  壓電陶瓷則泛指壓電多晶體,是指用必要成份的原料進(jìn)行混合、成型、高溫?zé)Y(jié),由粉粒之間的固相反應(yīng)和燒結(jié)過程而獲得的微細(xì)晶粒無規(guī)則集合而成的多晶體,具有壓電性的陶瓷稱壓電陶瓷。壓電陶瓷材料具有良好的耐潮濕、耐磨和耐高溫性能,硬度較高,物理和化學(xué)性能穩(wěn)定。壓電陶瓷材料包括鈦酸鋇BT、鋯鈦酸鉛PZT、改性鋯鈦酸鉛、偏鈮酸鉛、鈮酸鉛鋇鋰PBLN、改性鈦酸鉛PT等。


  (3)壓電薄膜


  壓電薄膜材料是原子或原子團(tuán)經(jīng)過或?yàn)R射的方法沉積在襯底上而形成的,其結(jié)構(gòu)可以是費(fèi)靜態(tài)、多晶甚至是單晶。壓電薄膜制備的器件不需要使用價(jià)格昂貴的壓電單晶,只要在襯底上沉積一層很薄的壓電材料,因而具有經(jīng)濟(jì)和省料的特點(diǎn)。而且制備薄膜過程中按照一定取向來沉積薄膜,不需要進(jìn)行極化定向和切割等工藝。另外,利用壓電薄膜制備的器件應(yīng)用范圍廣泛、制作簡單、成本低廉,同時(shí)其能量轉(zhuǎn)換效率高,還能與半導(dǎo)體工藝集成,符合壓電器件微型化和集成化的趨勢。

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壓電陶瓷元器件的原理和性能特點(diǎn)

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