精度參數(shù)上，交叉滾子導(dǎo)軌的直線度誤差可控制在 0.001mm/100mm 以內(nèi)，重復(fù)定位精度可達(dá) ±0.0005mm，旋轉(zhuǎn)精度（偏擺、俯仰）可控制在 1 角秒以內(nèi)，遠(yuǎn)高于普通直線導(dǎo)軌。此外，它通過特殊的預(yù)緊工藝，可實(shí)現(xiàn)無間隙運(yùn)動(dòng)，滿足超高精度定位需求。
典型應(yīng)用中，交叉滾子導(dǎo)軌是半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備的核心導(dǎo)向部件，帶動(dòng)檢測(cè)探頭實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的移動(dòng)，確保對(duì)晶圓表面缺陷的精準(zhǔn)識(shí)別；在光學(xué)鏡頭研磨機(jī)中，它能保證研磨頭的運(yùn)動(dòng)軌跡精度，使鏡頭表面粗糙度控制在 Ra0.001μm 以下；在航空航天領(lǐng)域的慣性導(dǎo)航設(shè)備中，交叉滾子導(dǎo)軌為陀螺儀提供穩(wěn)定的導(dǎo)向支撐，確保導(dǎo)航精度符合嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。
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