電子顯微鏡，簡(jiǎn)稱(chēng)電鏡，由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，電子顯微鏡已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可或缺的重要工具，廣泛應(yīng)用于材料、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、化學(xué)和半導(dǎo)體等研究領(lǐng)域。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，電鏡的性能得到了飛速提升，分辨率越來(lái)越高。近期，電鏡市場(chǎng)又涌現(xiàn)出了兩款性能卓越、品質(zhì)上乘的電鏡產(chǎn)品，引發(fā)人們關(guān)注。

　　荷蘭飛納發(fā)布臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射（FEG）電鏡能譜一體機(jī)

　　2018年7月24日，荷蘭飛納Phenom發(fā)布了全球首款臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射（FEG）掃描電鏡能譜一體機(jī)Phenom LE。據(jù)悉，Phenom LE分辨率更高、性?xún)r(jià)比更高、使用更方便。

　　Phenom LE從立項(xiàng)到最后上市耗時(shí)6年，凝聚了上百名研發(fā)人員的心血。其采用肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)成⑸潆娮映上瘛⒍坞娮映上窈湍茏V分析于一體，分辨率優(yōu)于2.5nm@15kV，放大倍數(shù)可達(dá)500，000x。此外，Phenom LE的成本優(yōu)勢(shì)也值得一提。安裝飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射（FEG）電鏡，只需要一張承重200kg以上的桌子就可以，無(wú)需裝修改造實(shí)驗(yàn)室，無(wú)需安裝防震臺(tái)、磁屏蔽。相較于購(gòu)買(mǎi)傳統(tǒng)落地式場(chǎng)發(fā)射電鏡和能譜，Phenom LE可為用戶節(jié)省40%左右的購(gòu)買(mǎi)成本和20-60萬(wàn)的實(shí)驗(yàn)室改造費(fèi)用，可謂掃描電鏡行業(yè)的一個(gè)里程碑式的創(chuàng)新產(chǎn)品。

　　日立高新推出肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU7000

　　掃描電子顯微鏡（SEM）可通過(guò)檢測(cè)樣品激發(fā)出的二次電子、背散射電子、X射線等信號(hào)，獲得從微細(xì)結(jié)構(gòu)到組成成分等各種信息，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生物、材料等諸多領(lǐng)域。隨著掃描電子顯微鏡的應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大，研究人員對(duì)觀察時(shí)間和信號(hào)的采集速率提出了更高要求。

　　7月31日，日立高新技術(shù)公司在全球同步推出重磅電鏡新品——肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU7000。該產(chǎn)品縮短了采集信號(hào)獲取樣品信息的時(shí)間，真正實(shí)現(xiàn)了高通量的觀察與分析。

　　SU7000采用全新設(shè)計(jì)的探測(cè)器，對(duì)二次電子信號(hào)、背散射電子信號(hào)的檢測(cè)以及分離能力大大提升。通過(guò)新研發(fā)的樣品倉(cāng)以及檢測(cè)器系統(tǒng)，可在不改變樣品與透鏡之間的距離的條件下，更高效地接收各種信號(hào)，縮短了樣品觀察和分析的時(shí)間，提高了測(cè)試效率。并且，SU7000還配置了可同時(shí)顯示6通道的界面，進(jìn)一步升級(jí)SEM控制系統(tǒng)，大幅提高信號(hào)獲取速度，實(shí)現(xiàn)了樣品的高通量觀察。標(biāo)配的超大樣品倉(cāng)，增設(shè)了附件接口，可適用于各種樣品的觀察與分析，用戶使用起來(lái)更方便。

　　新產(chǎn)品的不斷涌現(xiàn)，正是科技進(jìn)步、市場(chǎng)繁榮的象征。作為科研工作的基礎(chǔ)工具，電子顯微鏡的推陳出新，將有力推動(dòng)科學(xué)研究進(jìn)程，為各大基礎(chǔ)研究領(lǐng)域提供動(dòng)力支持。荷蘭飛納和日立高新推出的這兩款電鏡產(chǎn)品，性能卓越、品質(zhì)可靠，必將成為電鏡市場(chǎng)上的生力軍。