| 有一家傳感器制造商,已經(jīng)開始應(yīng)用MEMS技術(shù),在芯片上制造氣體探測(cè)器樣品了。這家公司的專有技術(shù),有可能將體積龐大,價(jià)格昂貴的氣體與化學(xué)品探測(cè)器和儀器制作在硅芯片上;這樣的探測(cè)器,不論從體積大小方面考慮,還是從價(jià)格成本方面考慮,都能滿足商業(yè)化的要求。 
Ion Optics公司（位于麻薩諸塞州的Waltham）是一家從事光學(xué)傳感器技術(shù)和產(chǎn)品開發(fā)與制造的公司,已經(jīng)開始在制造一種稱為‘SensorChip（傳感器芯片）’的氣體探測(cè)器的樣品了;傳感器芯片是應(yīng)用MEMS制造技術(shù),在硅晶圓片上制成的。Ion Optics公司認(rèn)為：市場(chǎng)需要體積小巧,精確度高,可靠性高,而又價(jià)格便宜的氣體與化學(xué)品探測(cè)器;并且這是一個(gè)尚未被開發(fā)的市場(chǎng)。他們還認(rèn)為：這種新型的探測(cè)器將首先用來(lái)探測(cè)一氧化碳或天然氣;這種探測(cè)器也將作為傳感器,安裝在汽車的儀表盤上。 目前所用的化學(xué)物質(zhì)探測(cè)技術(shù),不是依賴于價(jià)格昂貴的電化學(xué)傳感技術(shù),就是依賴于體積龐大并且價(jià)格也不便宜的,利用光學(xué)敏感性能制成的探測(cè)器。如果能夠?qū)⑦@樣的光學(xué)儀器制成在一個(gè)芯片上,將為設(shè)計(jì)人員提供了一種性能超群,可靠性又優(yōu)越的解決方案。這種解決方案價(jià)格又不高。因此有可能開辟許多新的應(yīng)用領(lǐng)域。 插圖中照片所顯示的硅微細(xì)電橋元件,是上述SensorChip的核心,它既是紅外線發(fā)生器,也是紅外線探測(cè)器;并且都同時(shí)被調(diào)整在所要求的氣體敏感波長(zhǎng)上。根據(jù)表面結(jié)構(gòu)的光子帶隙,被驅(qū)動(dòng)脈沖電流加熱了的硅微細(xì)電橋元件,將發(fā)射一定波長(zhǎng)的紅外線。這個(gè)波長(zhǎng)正是待測(cè)氣體的敏感譜線。 如果存在有待測(cè)的氣體,所發(fā)射的能量不能完全被探測(cè)器所吸收;因此使得硅微細(xì)電橋元件的溫度比較低。溫度降低的程度,反映出待測(cè)氣體的濃度。 該公司宣稱：經(jīng)過(guò)波譜調(diào)整發(fā)射效率可達(dá)90%;所演示的樣品,與薄膜干涉濾色鏡相比,半功率帶寬僅為它的5%。由于對(duì)于大多數(shù)氣體,都能夠獲得優(yōu)異特性的吸收譜線;采用該公司的SensorChip做成的設(shè)備,對(duì)存在于液相與氣相混合物中的化學(xué)物質(zhì),能夠準(zhǔn)確無(wú)誤地分辨,并且能夠定量地確定其含量。 該公司已經(jīng)向有望大量采用的用戶,分送紅外線氣體探測(cè)器芯片的初步樣品,供他們分析評(píng)估。如果希望了解更多的信息,請(qǐng)和Ion Optics公司的Brian Kinkade聯(lián)系,電話號(hào)碼為001-781-788-8777,103分機(jī);電子郵箱：bkinkade@ion-optics.com;網(wǎng)址為http：//www.ion-optics.com。 |
66821730(技術(shù)支持)
