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NOVATEX準(zhǔn)分子激光器適用于曝光方面的應(yīng)用,如光掩膜版的制作、檢查和量測。重復(fù)率為1KHz時(shí),激光器能穩(wěn)定發(fā)射輸出能量為16mJ的248nm激光（KrF型號）和6mJ的193nm激光（ArF型號）。它包括一個(gè)激光頭（激光頭安裝在一個(gè)適于潔凈室環(huán)境下使用的不銹鋼盒子里）和一套安裝在工業(yè)PC板單獨(dú)的電源系統(tǒng)。激光器由嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)組件構(gòu)成,可單側(cè)打開進(jìn)行激光頭維修,因此很容易與大多數(shù)工作站進(jìn)行組合使用�！ ambda Physik USA Inc. www.lambdaphysik.com 
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