中芯國際集成電路制造有限公司(SMIC)位于上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)的一廠和Intel公司的11X廠被評為"2003年度最佳半導(dǎo)體廠"。這是由Semiconductor International雜志每年授予世界一流廠房的一項極高的榮譽。 該評選標準主要基于以下幾大因素:生產(chǎn)能力、產(chǎn)能提升速度、自動化程度,污染物控制程序、對員工以及環(huán)境健康和安全問題的考慮。Semiconductor International主編 Peter Singer說:“中芯國際在這些領(lǐng)域都有出色的表現(xiàn)。另外,中芯國際在試生產(chǎn)后僅用一年半的時間,就開發(fā)出0.35-0.18微米的工藝和0.13微米銅制程后段工藝,中芯國際銅制程在如此短時間內(nèi)達到量產(chǎn)水平也給我們留下了猶為深刻的印象! Intel公司的11X廠是第一個在300mm晶圓廠中實現(xiàn)130nm工藝和雙嵌入式銅工藝。在2003年下半年,該廠還將逐步轉(zhuǎn)向90nm工藝。 中芯國際總裁兼執(zhí)行行長張汝京(一排左四);晶圓一廠營運中心副總裁Marco Mora (左五)及晶圓一廠副總經(jīng)理鄧覺為(左三)等在廠房前 |