產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品名稱：BOC EDWARDS-低溫泵-ON-BOARD IS 320FX
產(chǎn)品型號：ON-BOARD IS 320FX
產(chǎn)品介紹：On-Board IS 320FX 低溫泵專為應(yīng)對當(dāng)今離子注入工藝的挑戰(zhàn)而開發(fā)，可提供更高的氫氣泵送速度和容量，同時保持您對 On-Board的所有質(zhì)量、性能和可靠性優(yōu)勢 IS 320FE 低溫泵。On-Board IS 320FX 低溫泵旨在提供高的氫氣真空抽速和容量，以提高產(chǎn)品產(chǎn)量和工具產(chǎn)量。 基于 Edwards 廣泛的低溫泵設(shè)計知識，該低溫泵優(yōu)于所有其他同等尺寸的泵，同時符合嚴(yán)格的準(zhǔn)則。智能系統(tǒng)控制提供更好的工藝質(zhì)量、真空一致性和正常運行時間，同時提供實時系統(tǒng)知識以優(yōu)化電機(jī)速度和低溫溫度。針對不斷變化的熱/氣體負(fù)載條件的自動調(diào)整增強(qiáng)了真空一致性并縮短了晶圓間的恢復(fù)時間。On Board IS 320FX 還可以針對工藝相關(guān)涂層的堆積進(jìn)行調(diào)整，而不會影響可靠性或生產(chǎn)力。
性能特點：
專為離子注入應(yīng)用而設(shè)計
智能自調(diào)節(jié)技術(shù)
擁有成本更低
增加正常運行時間
參數(shù)：
氫氣容量:30L /40L
分頻器：300 Torr-L
ISO 真空法蘭內(nèi)徑：12.6 英寸（320 毫米）
上海連航機(jī)電科技有限公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件，提供過程控制技術(shù)詢問，工業(yè)自動化集成設(shè)計與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，連航分別在德國和美國設(shè)立了公司和倉儲，一舉鞏固了采購能力，擴(kuò)大了由工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本優(yōu)勢，進(jìn)而提升了終端服務(wù)效率與水平。
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