產(chǎn)品詳情
格里爾斯GRYLLS質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
主要技術(shù)指標(biāo)
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1 |
量程范圍 |
（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM |
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2 |
準(zhǔn)確度 |
±1%F.S ±0.5%F.S |
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3 |
線性 |
±0.5~1.5%F.S |
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4 |
重復(fù)精度 |
±0.2%F.S |
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5 |
響應(yīng)時間 |
電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
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6 |
工作壓差 |
0.1~0.5MPa |
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7 |
耐壓 |
3MPa |
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8 |
工作環(huán)境溫度 |
0~70℃ |
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9 |
數(shù)字量 |
RS485 MODBUS協(xié)議 |
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10 |
模擬量 |
DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
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11 |
供電 |
DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA |
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12 |
電氣連接 |
DB15 |
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13 |
漏率 |
1×10 -8SCCSHe |
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14 |
底座材質(zhì) |
316L不銹鋼 |
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15 |
密封材質(zhì) |
氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
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16 |
氣路接頭 |
Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
注意:
質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣(N?)標(biāo)定.
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分); SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度-----273.15K (0℃);
氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）
F.S (Full Scale): 滿量程值
工作原理
氣體質(zhì)量流量控制器卓越的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
