薄膜晶體管液晶顯示器廠房設施要求：

薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計應滿足薄膜晶體管液晶顯示器生產所需要超大空間潔凈環(huán)境的要求。

    生產的主要工序應完整、配套，陣列、彩膜和成盒工序段宜設置在同一廠區(qū)內。

潔凈區(qū)內位于搬運通道的高架地板應滿足設備搬運荷載要求。

薄膜晶體管液晶顯示器工廠廠房的耐火等級不應低于二級。

陣列、成盒、彩膜、模組廠房的潔凈室，在關鍵工藝設備自帶火災報警和滅火裝置以及在回風氣流中設有靈敏度嚴于0．01％obs／m的早期煙霧探測系統后，其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產工藝要求確定。

凈化空調系統分開設置的原則除應符合現行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50472的有關規(guī)定外，還應符合下列規(guī)定：

    1 溫、濕度基數差別大的潔凈室應分開設置凈化空調系統；

    2 溫、濕度允許波動范圍差別大的潔凈室應分開設置凈化空調系統。

布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產區(qū)的風管、水管應采取減振措施。

 潔凈室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備均應設局部排風裝置，排風罩宜為密閉式。

排風系統的設計應符合下列規(guī)定：

    1 等離子體增強化學氣相沉積和干法刻蝕設備的尾氣應設就地處理裝置。

    2 酸、堿、有毒和有機廢氣應分開設置排風系統，并應設置備用風機和應急電源。

    3 陣列、彩膜、成盒廠房一般排風系統應設置備用風機。

    4 有冷凝液產生的工藝設備局部排風管宜設置坡度和排液口，冷凝液應排至相應的廢水管網中，且風管系統應采取防液體滲漏措施。

    5 有毒排風系統的風管應采用內涂聚四氟乙烯的不銹鋼板制作。

    6 有毒和有機排風應采取防爆措施。

    7 酸、堿、有毒和有機排風系統的風管不應穿過防火墻或防火分隔物。若必須穿過時，不得設置熔片式防火閥。

    8 酸、堿、有毒和有機排風系統的廢氣處理設備應設在排風機的負壓端。

    9 有毒排風系統的風管應在便于觀察的位置設置透明觀察口，其管內風速不應小于10m／s。

    10 工藝設備局部排風系統的室外風管應根據當地氣象條件設置防結露保溫措施。

    11 布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產區(qū)內的排風管道，其管內風速不應大于12m／s。

    12 潔凈室的排風系統應設置防止室外氣流倒灌的措施。

 一般排風系統的排風宜作為潔凈室的回風使用。

換鞋間應設置不低于10次／h的全室排風系統，排風口宜設置在下部；換鞋柜宜設置局部排風措施；一次更衣間宜設置不低于5次／h的全室排風系統。

凈化空氣調節(jié)系統的新風應集中進行熱、濕、凈化處理，新風處理機組的設置應符合下列規(guī)定：

    1 送風機應采取變頻措施；

    2 空氣應經過粗效、中效、高效過濾器三級處理；

    3 陣列、彩膜、成盒廠房應設置備用新風處理機組；

    4 陣列、彩膜、成盒廠房的電機與風機應采用直聯驅動方式，且有良好的減振措施；

    5 新風的吸入口位置應遠離排放有害物或可燃物的排氣口；

    6 加濕方式宜采用溫水淋水室；

    7 應有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風率不得大于1％。

陣列、彩膜、成盒廠房凈化空氣調節(jié)系統的循環(huán)風宜采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理，模組和背光源廠房凈化空氣調節(jié)系統的循環(huán)風宜采用循環(huán)空氣處理機組處理。

陣列、彩膜、成盒廠房的潔凈室寬度超過80m時，宜在寬度方向布置不同阻力的回風高架地板。

干冷卻盤管的設置應符合下列規(guī)定：

    1 迎面風速不宜超過2．5m／s；

    2 空氣側阻力不應大于40Pa；

    3 布置在同一潔凈室(區(qū))內的干冷卻盤管，在工作條件下空氣側阻力相差不得大于10％；

    4 冷凍水的供水溫度宜高于潔凈室(區(qū))內的露點溫度；

5 干冷卻盤管應設置排水系統，非落地安裝的干冷卻盤管應設置積水盤。

風機過濾器機組的設置應符合下列規(guī)定：

    1 應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；

    2 宜采用直流調速電機；

    3 機組應采取消音措施，消音裝置不得采用產塵材料，且其燃燒性能等級應達到B級；

    4 潔凈度等級為7級～9級的潔凈室(區(qū))不宜采用聚四氟乙烯濾料的過濾器；

    5 應便于安裝、維修及過濾器更換。

當采用新風處理機組＋風機過濾器機組＋干冷卻盤管的凈化空調系統時，潔凈區(qū)各部位的風速應符合下列規(guī)定：

    1 上技術夾層不應大于4m／s；

    2 下技術夾層不應大于3m／s；

    3 回風夾道不應大于4m／s。

空調冷、熱源和水系統的設置應符合下列規(guī)定：

    1 空調冷媒應采用低溫和中溫冷凍水系統；除新風處理機組的二級冷卻盤管使用低溫冷凍水外，其余冷卻盤管宜使用中溫冷凍水。

    2 干冷卻盤管的中溫冷凍水系統宜采用同程式，供水干管的末端宜與回水干管間設置旁通管。

    3 布置在吊頂內、下技術夾層及回風夾道內的中溫冷凍水系統供水干管應保溫。

    4 布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產區(qū)內的冷、熱水管的固定支架不應設置在建筑結構體系上。

    5 變電所內不宜布置空氣調節(jié)器，不得布置各種水閥和水系統配件。