產(chǎn)品詳情
真空伺服電動缸 - 高真空環(huán)境精密直線驅(qū)動專家
產(chǎn)品概述
深空創(chuàng)想專為真空環(huán)境設(shè)計的精密直線驅(qū)動裝置，集成伺服電機、真空減速機與密封推桿系統(tǒng)，可在10?3Pa及以上真空環(huán)境中實現(xiàn)高精度、可編程的直線運動控制。
核心技術(shù)
- 全真空密封設(shè)計：一體化密封殼體，磁流體旋轉(zhuǎn)密封與波紋管直線密封組合
- 超低出氣材料：不銹鋼主體結(jié)構(gòu)，特種工程塑料軸承組件
- 潔凈潤滑系統(tǒng)：固體潤滑或全氟聚醚真空潤滑方案
- 智能驅(qū)動集成：內(nèi)置真空兼容伺服電機與控制器
性能參數(shù)
- 推力范圍：100N-20kN（多規(guī)格可選）
- 行程范圍：50-1000mm（支持定制）
- 定位精度：±0.01mm（高±0.002mm）
- 重復(fù)定位：±0.005mm
- 真空兼容：10?3Pa～10??Pa，支持150℃烘烤
- 速度范圍：1-200mm/s可調(diào)
主要應(yīng)用
- 半導(dǎo)體制造：晶圓傳輸機械臂、真空閥門驅(qū)動、光刻機工件臺
- 真空鍍膜設(shè)備：擋板控制、基板升降、掩膜板定位
- 航天測試設(shè)備：空間環(huán)境模擬器驅(qū)動、衛(wèi)星組件測試
- 科研儀器：同步輻射光束線控制、粒子加速器組件
- 新能源設(shè)備：真空熔煉爐、單晶爐提拉裝置
選型建議
1. 環(huán)境參數(shù)確認
- 工作真空度等級
- 環(huán)境溫度范圍
- 潔凈度要求（ISO等級）
2. 性能需求匹配
- 負載推力要求
- 行程與精度需求
- 速度與加速度參數(shù)
3. 安裝配置
- 安裝空間限制
- 連接接口形式
- 控制系統(tǒng)兼容性
4. 特殊需求
- 是否需要位置反饋
- 防護等級要求
- 認證標(biāo)準(zhǔn)需求
質(zhì)量保證
- 每臺產(chǎn)品經(jīng)過真空環(huán)境性能測試
- 提供出氣率檢測報告（＜10?1? Pa·m3/s）
- 支持半導(dǎo)體設(shè)備配套認證
- 提供完整的真空應(yīng)用解決方案
產(chǎn)品概述
深空創(chuàng)想專為真空環(huán)境設(shè)計的精密直線驅(qū)動裝置，集成伺服電機、真空減速機與密封推桿系統(tǒng)，可在10?3Pa及以上真空環(huán)境中實現(xiàn)高精度、可編程的直線運動控制。
核心技術(shù)
- 全真空密封設(shè)計：一體化密封殼體，磁流體旋轉(zhuǎn)密封與波紋管直線密封組合
- 超低出氣材料：不銹鋼主體結(jié)構(gòu)，特種工程塑料軸承組件
- 潔凈潤滑系統(tǒng)：固體潤滑或全氟聚醚真空潤滑方案
- 智能驅(qū)動集成：內(nèi)置真空兼容伺服電機與控制器
性能參數(shù)
- 推力范圍：100N-20kN（多規(guī)格可選）
- 行程范圍：50-1000mm（支持定制）
- 定位精度：±0.01mm（高±0.002mm）
- 重復(fù)定位：±0.005mm
- 真空兼容：10?3Pa～10??Pa，支持150℃烘烤
- 速度范圍：1-200mm/s可調(diào)
主要應(yīng)用
- 半導(dǎo)體制造：晶圓傳輸機械臂、真空閥門驅(qū)動、光刻機工件臺
- 真空鍍膜設(shè)備：擋板控制、基板升降、掩膜板定位
- 航天測試設(shè)備：空間環(huán)境模擬器驅(qū)動、衛(wèi)星組件測試
- 科研儀器：同步輻射光束線控制、粒子加速器組件
- 新能源設(shè)備：真空熔煉爐、單晶爐提拉裝置
選型建議
1. 環(huán)境參數(shù)確認
- 工作真空度等級
- 環(huán)境溫度范圍
- 潔凈度要求（ISO等級）
2. 性能需求匹配
- 負載推力要求
- 行程與精度需求
- 速度與加速度參數(shù)
3. 安裝配置
- 安裝空間限制
- 連接接口形式
- 控制系統(tǒng)兼容性
4. 特殊需求
- 是否需要位置反饋
- 防護等級要求
- 認證標(biāo)準(zhǔn)需求
質(zhì)量保證
- 每臺產(chǎn)品經(jīng)過真空環(huán)境性能測試
- 提供出氣率檢測報告（＜10?1? Pa·m3/s）
- 支持半導(dǎo)體設(shè)備配套認證
- 提供完整的真空應(yīng)用解決方案
深空創(chuàng)想真空伺服電動缸——在純凈的真空環(huán)境中，提供精準(zhǔn)可靠的直線動力，助力高端制造實現(xiàn)精密運動控制
