日前，2022年全國五一勞動獎和全國工人先鋒號揭曉，復旦大學微電子學院教授張衛(wèi)榮獲全國五一勞動獎章。今年獲這一獎章的全國總共966人，此外200個集體獲全國五一勞動獎狀，956個集體獲全國工人先鋒號稱號。

張衛(wèi)教授

復旦大學微電子學院院長、校學術委員會副主任、“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項技術副總師、國務院特殊津貼獲得者。

4月29日，知悉自己獲得全國五一勞動獎章時，張衛(wèi)教授正在辦公室修改學生論文。談及榮獲獎章，他說：“榮譽只代表過去，我得繼續(xù)努力工作，每天都有很多事情要做?！?/p>

疫情期，張衛(wèi)返回校園值守崗位已有一個月。他的每一天都很平常，從住所到辦公室兩點一線。大部分時間，張衛(wèi)坐在辦公桌前，敲著電腦鍵盤，一坐就是幾個小時。

正值畢業(yè)季，張衛(wèi)每天都在花時間審閱、修改學生們的論文。張衛(wèi)說：“如果學生做得不好，那一定是我的原因?！庇袝r候為了論文中的一段文字，他會和學生反復討論和斟酌，力求描述準確。五一勞動節(jié)當天，他早上7點多就到辦公室，查找文獻、修改學生的論文，午飯剛過就開始在網(wǎng)上審評論文。

返校以來，除了教學和科研工作，他還關愛學院師生，擔起疫情防控的一方責任。作為微電子學院院長，他說，“堅持在第一線防疫，這是我的責任”。借用張衛(wèi)的話，他就是“一個平凡的人”。但是，在這平淡平凡的背后，有著責任和擔當。

搭建第一套原子層沉積

技術的實驗研究平臺

時光回到20多年前。

1995年6月，張衛(wèi)博士畢業(yè)后到復旦大學做博士后，合作導師是電子工程系的王季陶教授。在這期間，他瞄準本領域的國際學術前沿，開展了先進銅互連技術和低介電常數(shù)互連介質等研究，并取得了很好的學術成績。博士后出站后，張衛(wèi)留校工作，繼續(xù)專注于集成電路領域的創(chuàng)新研究。

之后，張衛(wèi)在德國做了一年半的洪堡學者，2002年5月他回到復旦大學。在學校和學院領導的大力支持下，他在國內率先開展了原子層沉積(ald)高k柵介質的研究。2003年他搭建了國內第一臺原子層沉積實驗設備，隨后他組織舉辦了第一屆中國原子層沉積技術學術會議，邀請了國內外ald領域專家參會，迅速擴大了復旦大學在集成電路前沿領域的國際影響力。

如今，中國原子層沉積學術會議(cald)已成功舉辦了9屆。張衛(wèi)教授團隊在原子層沉積領域的研究也取得了豐碩成果，發(fā)表相關學術論文120多篇。

“做科研就是要鍥而不舍”

28年，張衛(wèi)從一個初出茅廬的科研人員，成長為國內集成電路領域的領軍人物，獲得無數(shù)榮譽。這一切的背后，離不開他的“死磕”。在他看來，“做科研，是我的工作，也是我長久的堅守。”

微電子學院青年教師孫清清，2004年還是一名大四的學生，當時他在張衛(wèi)教授課題組做畢業(yè)設計。每次跟來自美國的工程師一起安裝設備的時候，他發(fā)現(xiàn)旁邊總有一個人，那就是張衛(wèi)。

“幾天接觸下來，我感覺張老師是一個非常嚴謹?shù)娜耍軓乃砩蠈W到東西?！北究飘厴I(yè)后孫清清跟著張衛(wèi)教授攻讀研究生。他和張衛(wèi)的緣分，自2004年延續(xù)至今。孫清清也已成長為一名學科帶頭人。

“有時候，在大家覺得‘沒必要’或‘不可能’的時候，他就不放棄，死磕，最后成功推進了?！?孫清清說。

“集成電路領域的研究需要產(chǎn)學研深度合作?！睂O清清回憶，“張老師經(jīng)常帶著我們跟企業(yè)去談，有時候每周都要飛過去”?！笆菑埨蠋煹膱猿执騽恿藢Ψ?，最終合作得以成功?！睂O清清說，如果中間不堅持，事情肯定就“泡湯”了。

微電子學院2019年直博士徐航說：“老師對科研的態(tài)度非常認真嚴謹。有問題找他時，討論中，他連一些小細節(jié)都不放過。他還會就你提出來的問題發(fā)散到面上，讓你看到一些之前沒考慮的問題，幫你理清科研思路。”

憑著這份韌勁，張衛(wèi)幾十年如一日，在科研路上孜孜不倦。近年來，他牽頭承擔了8項國家和上海市重大、重點科研項目，在science、nature materials、ieee electron device letters、ieee ted等本領域國內外學術期刊及會議上發(fā)表論文300多篇，申請發(fā)明專利180多項。

不僅傳授知識

更要做有價值的人生導師

“作為一名老師，首要任務是教書育人，為行業(yè)培養(yǎng)高質量的人才?！睆埿l(wèi)說。除了潛心探索科研工作，張衛(wèi)堅守在教學一線。他給本科生講授《半導體材料》課程。一位復旦大學微電子專業(yè)20年前畢業(yè)的學生，現(xiàn)在已是企業(yè)高管，依然對張老師激情講授的《半導體材料》課程印象深刻。

在張衛(wèi)看來，“大學教育對一個學生未來職業(yè)規(guī)劃和選擇非常重要。作為老師，我想不僅僅是做科研，更是作為人生導師。不僅傳授知識，更要活用我過去幾十年的人生閱歷，引導他們成長?！?/p>

多年來，他培養(yǎng)了一大批集成電路領域的優(yōu)秀人才，其中5人獲得國家高層次人才等稱號，40多人擔任我國集成電路頭部企業(yè)高管和核心技術人員，成長為我國集成電路領域的領軍人物。

這兩年，張衛(wèi)還為高中生先修課堂上課，講授“改變世界的芯片技術”。他說，芯片是現(xiàn)代工業(yè)的糧食，是我們國家高科技強國建設的重要一環(huán)，希望通過先修課堂，讓中學生對研究有了解，激發(fā)他們對科研世界的思考。

主動對接國家重大戰(zhàn)略需求

為“第一個復旦”建設貢獻力量

談到未來微電子學院的發(fā)展，張衛(wèi)說，學院將面向學科前沿和國家重大戰(zhàn)略的需求，在平臺建設、科研創(chuàng)新和人才培養(yǎng)等方面積極進取，特別是要探索集成電路人才培養(yǎng)的新模式，解決產(chǎn)業(yè)核心技術問題，培養(yǎng)產(chǎn)業(yè)急需的創(chuàng)新型領軍人才，走出一條新路徑。

張衛(wèi)說，集成電路是信息產(chǎn)業(yè)的基礎。復旦大學集成電路學科成為教育部公布的新一輪“雙一流”學科建設名單中全國高校唯一入選的“集成電路科學與工程”學科。復旦大學微電子學院已是國家示范性微電子學院的典型代表，將努力建設成為集成電路基礎源頭創(chuàng)新、前瞻性技術攻關和高層次人才培養(yǎng)的國際一流微電子學院，為建設特色鮮明、引領創(chuàng)新、享譽世界學術殿堂的“第一個復旦”作貢獻。

離開科研、教學，張衛(wèi)的生活很簡單，平常他最喜歡的活動就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。長期以來，他保持良好作息習慣，每天晚上11點之前睡覺，早上6點鐘起床，以充沛的精力投入到新的一天。

受疫情影響，這段時間微電子學院實驗室暫時“停擺”。作為導師，為了緩解學生的科研焦慮，張衛(wèi)做了一些調整，讓科研不間斷，包括布置閱讀新的文獻、總結前期實驗經(jīng)驗、討論進一步完善實驗計劃……做實做足前期功課，等待條件允許時快速投入、推進實驗。

在“五四”青年節(jié)來臨之際，張衛(wèi)寄語：“復旦青年有理想、有抱負。你們處在一個偉大的時代，要樹立遠大目標，將個人的規(guī)劃和國家的需求緊密結合，努力成為擔當民族復興大任的時代新人?！?/p>