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濺射用制靶工藝
濺射用制靶工藝
 更新時間:2008-8-17 20:11:50  點擊數(shù):4
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ECAE(equal channel angular extrusion)是一項先進(jìn)的金屬濺鍍技術(shù),包括鋁、鋁合金、銅和銅合金,具有金屬顆粒小,微觀結(jié)構(gòu)均勻,機(jī)械強(qiáng)度高,質(zhì)地可控的優(yōu)點。ECAE不僅提供很好的金屬特性,而且具有低弧光放電,使用壽命長,濺鍍能量高等出眾性能,適用于通孔的填充和沉積金屬薄膜。由于金屬顆粒非常細(xì)小,因此能成功過渡到0.18um以下工藝,用于通孔的填充。
  Honeywell Electronic Materials   www.electronicmaterials.com

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