| SEZ公司推出300mm, 90nm技術(shù)的單晶圓清洗系統(tǒng) |
| 作者:佚名 來源:不詳 錄入:Admin 更新時(shí)間：2008-8-17 20:12:26 點(diǎn)擊數(shù)：4 |
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SEZ6月推出的創(chuàng)新的 "Da Vinci達(dá)芬奇" 系列新產(chǎn)品有效地實(shí)現(xiàn)了高產(chǎn)出和小空間矛盾的統(tǒng)一,COO（COST OF OWNERSHIP）較該公司以往的產(chǎn)品提高了50%。該系列采用了模塊化的多艙設(shè)計(jì),進(jìn)一步證實(shí)了SEZ的工藝水平,有效節(jié)約了生產(chǎn)方的成本,滿足了全球客戶對量產(chǎn)的需求。
Da Vinci（達(dá)芬奇）系列產(chǎn)品在保證完全的可用性和可維護(hù)性前提下,實(shí)現(xiàn)了體積最小的單晶系統(tǒng)產(chǎn)品。由于實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的高可靠性和高產(chǎn)量的有機(jī)結(jié)合（性能已經(jīng)接近了浸入式清洗過程的極限值）,制造商可以在有限的空間安裝多個(gè)Da Vinci（達(dá)芬奇）系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了對空間和成本的高效率應(yīng)用。其中的DV-38F 能夠同時(shí)清除8只300-mm晶圓表面的BEOL聚合物�；贒a Vinci 的DV-38F 中優(yōu)化的旋轉(zhuǎn)處理器包括了先進(jìn)的工藝控制、增強(qiáng)的軟件系統(tǒng)、便攜的化學(xué)噴涂系統(tǒng),已被證實(shí)的晶圓處理過程以及一個(gè)易于使用的操作員界面,所有這些構(gòu)成了晶圓清洗革新技術(shù)中的獨(dú)特設(shè)計(jì) 。 |
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