<!-- 摘 要：將鐵電薄膜與CMOS工藝相集成是實現(xiàn)鐵電存儲器制備的關鍵所在,采用PZT材料的鐵電隨機存儲器的工作原理、工藝流程,以及鋁連線在還原性氫氣氛中退火對于鐵電電容特性的影響在本文中被探討,還原性氣體隔離層的幾種適用材料的特性,以及隔離層制備的工藝集成這一關鍵問題被著重研究。
關鍵詞：鐵電存儲器;氫隔離層;不揮發(fā)存儲器;氮氧化硅 | -->  ---隨著計算機、通信、自動控制和信息技術的迅速發(fā)展,工業(yè)界的用戶愈來愈多地要求自動化技術和自動控制技術更具有開放性、可集成性和可擴展性,同時還希望盡可能的保護原有的投入,且能較容易地升級和擴充。現(xiàn)場總線PROFIBUS技術以其先進性、成熟性和廣泛的適用性得到了迅速的推廣,截止2004年底,在全球安裝的節(jié)點超過了1300萬,其中在流程工業(yè)自動化市場中,已安裝的PROFIBUS設備超過了210萬個。
---PROFIBUS既適用于工業(yè)自動化中離散加工過程的應用,也適用于流程自動化中連續(xù)和批處理過程的應用,基于PROFIsafe的安全功能可大大簡化流程自動化設備現(xiàn)狀和診斷及認證、維護工作,可滿足混合型應用的各種需求。PROFIBUS有高效的工程工具和系統(tǒng)集成工具、優(yōu)化的組態(tài)、診斷軟件、完整全面的安裝指南和設備行規(guī),以及Web服務和網絡培訓等,所有這些都為最終用戶的使用和產品開發(fā)企業(yè)提供了極大方便。在近日舉行的“現(xiàn)場總線PROFIBUS和PROFINET技術巡回研討會”上,PROFIBUS國際組織主席庫斯特先生說：“在現(xiàn)場總線領域,PROFIBUS一直占具著領先地位,在未來的四年內,PROFIBUS的安裝節(jié)點數有望翻一番�！�
---PROFINET完全符合IEEE802.3標準,能同時以單條工業(yè)以太網纜線的解決方案滿足IT集成、實時自動化和同步實時運動控制三個領域的需求。在運動控制應用中,PROFINET可以在其他自動化或IT功能運行的同時,以同步實時模式(IRT)在一毫秒內控制150個軸。數據安全性、將PROFINET集成到MES系統(tǒng)、保障機械設備和人身安全的PROFIsafe安全技術解決方案也在規(guī)劃與發(fā)展之中。
---PROFIBUS在中國制造業(yè)、流程工業(yè)、冶金、電力、交通、制藥、水利、水處理、食品、樓宇等自動化領域中也被廣泛地采用。中國PROFIBUS用戶組織(CPO)和中國PROFIBUS技術資格中心(CPCC)積極致力于PROFIBUS和PROFINET技術的推廣和應用,通過認證實驗室、培訓、研討會等形式為用戶提供最新的產品和技術信息,并引導和幫助中國企業(yè)開發(fā)相關產品,打造中國品牌的PROFIBUS和PROFINET產品。 | |
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